プラズマ計測システム

プロダクト

プラズマ電子密度計(PAPsys-SA)

実際のプロセスプラズマでも影響を受けずに、プラズマの電子密度を計測できるシステムです。

本製品は、名古屋大学・菅井研究室とのプラズマ吸収プローブ法(Plasma-Absorbed-Probe)に関する共同研究成果として開発された製品です。

プラズマは、自己の電子密度に応じて特定の周波数だけを透過させる(吸収する)特性を持っています。この性質を利用し、プローブ先端から周波数を変化させながらの高周波をプラズマに照射することで”吸収周波数”を特定します。そうして特定した吸収周波数からプラズマの電子密度を算出します。

プラズマ電子密度計(PAPsys-SA)

特徴1. プロセスプラズマ中でも測定が可能

プラズマとプローブは誘電体(石英管)によって電気的に絶縁されており、活性化したプラズマの影響を受けません。

特徴2. 空間分解能がある

プローブ先端部が測定個所であるため、プラズマ中の局所計測が可能となっています。

プラズマ電子密度計の活用事例

2周波分離型CCPでの電子密度測定

2周波分離型CCPでの電子密度測定

電子密度測定結果(電子密度の径方向分布)

電子密度測定結果(電子密度の径方向分布)

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