マイクロ波機器

プロダクト

2.45GHzマイクロ波発振器(工業加熱用)

1500W出力 / 完全空冷

【販売終了いたしました】XPS-15

最大出力:1.5kWの工業加熱用マイクロ波発振器。
空冷、インバータ式。軽量・コンパクト・廉価。
電源部と発振部はセミ・セパレート型。(分離距離は3mまで)

3000W出力 / 完全水冷 or 完全空冷

MPS-30W-AC

最大出力:3kWの工業加熱用マイクロ波発振器。
完全水冷、インバータ式。
電源部と発振部はセパレート型。

MPS-30A-AC

最大出力:3kWの工業加熱用マイクロ波発振器。
完全空冷、インバータ式。
電源部と発振部はセパレート型。

6000W出力 / 空冷+水冷

MPS-60DA-AC

【販売終了いたしました】
最大出力:6kWの工業加熱用マイクロ波発振器。
空冷・水冷併用、インバータ式。
電源部と発振部はセパレート型。

MPS-60W-AC

【NEW】
最大出力:6kWの工業加熱用マイクロ波発振器。
完全水冷、インバータ式。
電源部と発振部はセパレート型。

2.45GHzマイクロ波発振器(プラズマ励起用)

1700W出力 / 完全空冷

MPS-17A

最大出力:1700Wのプラズマ励起用マイクロ波発振器。
完全空冷、インバータ式、低出力リップル。
電源部と発振部はセパレート型。

3000W出力 / 完全水冷

MPS-30W-DC

最大出力:3kWのプラズマ励起用マイクロ波発振器。
完全水冷、インバータ式、低出力リップル。
電源部と発振部はセパレート型。

6000W出力 / 空冷+水冷

MPS-60DA-DC

【販売終了いたしました】
最大出力:6kWのプラズマ励起用マイクロ波発振器。
空冷・水冷併用、インバータ式、低出力リップル。
電源部と発振部はセパレート型。

MPS-60W-DC

最大出力:6kWのプラズマ励起用マイクロ波発振器。
完全水冷式、インバータ式、低出力リップル。
電源部と発振部はセパレート型。

2.45GHzマイクロ波用アイソレータ(プラズマ / 工業加熱 共用)

空冷 / 反射耐電力1500W(MAX)

NISJ-15A

通過マイクロ波電力:3kW、耐反射電力:1.5kWで使用可能な空冷アイソレータ。

水冷 / 反射耐電力6000W(MAX)

NISJ-60W / NIST-60W

通過マイクロ波電力:6kW、耐反射電力:6kWで使用可能な水冷アイソレータ。
接続フランジは BRJ-2 と TBR-2A2 の2種に対応。

2.45MHzマイクロ波電力検出機器(プラズマ / 工業加熱 共用)

検波器付き方向性結合器

N2PM-J

方向性:20dB以上の検波器付き方向性結合器。
接続フランジは、BRJ-2とTBR-2A2の2種に対応。

(当社の検波器付き方向性結合器は、当社製パワーメータとセットで使う必要があります)

簡易マイクロ波検出器

N2PM-JXXX-SES

マイクロ波の入射電力/反射電力をモニタするための簡易検出器。
方向性結合器ほどの検出精度を必要とせず、大まかな電力値さえモニタできれば良い、という様な目的に。

2.45GHzマイクロ波用整合器(プラズマ / 工業加熱 共用)

手動型 / 3スタブ方式

SMTJ-15

マイクロ波電力:1.5kWまで対応の3スタブ式手動整合器。
軽量・コンパクトな設計。

手動型 / EHスタブ方式

MT-20S

マイクロ波電力:6kWまで使用可能なEHスタブ式手動整合器。

自動型 / EHスタブ方式

Piat-XX-CE

高速・高精度のEHスタブ式自動整合器。
スタンドアローン動作可能。
オプションのリモートユニットを使えば、外部コントロールやパソコンを使った状態監視などの拡張機能が使えます。

自動型 / EHスタブ方式 / 方向性結合器一体型

Piat-XX-2PM-CE

高速・高精度のEHスタブ式自動整合器で、検波器付き方向性結合器の機能を一体化したバージョン。
スタンドアローン動作可能。
オプションのリモートユニットを使えば、外部コントロールやパソコンを使った状態監視などの拡張機能が使えます。

2.45GHzマイクロ波 周辺機器

アークディテクタ

AD-D2-JXXX

導波管内の異常放電を光センサで捉え、アラーム信号を出す保護機器。
光センサ検出レベルは2段階で設定可能。

電力減衰器

ATT-8dB

固定減衰率(-8dB)のアッテネータです。

可動短絡板

SP-J

WRJ-2規格のストレート管と組み合わせて使うことで、定在波調整用の可動短絡板となります。

導波管窓

TW-WRI22-ALQ

導波管と負荷の間に挿入することで、減圧負荷へのマイクロ波機器接続を可能にします。

2.45GHzマイクロ波用 各種導波管

各種導波管

ストレート / Eコーナー / Hコーナー

WRJ-2規格、WRT-2規格の各種ストレート管、コーナー導波管をご用意しております。

変換導波管

WRJ-2規格の導波管とWRT-2規格の導波管を接続するための変換導波管です。

同軸導波管変換器

TR-39D-J

導波管(WRJ-2)から同軸管(WX-39D)にモード変換する変換器です。

TR-20D-J

導波管(WRJ-2)から同軸管(WX-20D)にモード変換する変換器です。

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