マイクロ波機器
プロダクト
2.45GHzマイクロ波発振器(プラズマ励起用)
1700W出力 / 完全空冷
3000W出力 / 完全水冷
2.45GHzマイクロ波用アイソレータ(プラズマ / 工業加熱 共用)
空冷 / 反射耐電力1500W(MAX)
水冷 / 反射耐電力6000W(MAX)
NISJ-60W / NIST-60W
・通過マイクロ波電力:6kW
・耐反射電力:6kWで使用可能な水冷アイソレータ。
・接続フランジは BRJ-2 と TBR-2A2 の2種に対応。
2.45MHzマイクロ波電力検出機器(プラズマ / 工業加熱 共用)
検波器付き方向性結合器
N2PM-J/N2PM-T
・方向性:20dB以上の検波器付き方向性結合器。
・接続フランジは、BRJ-2とTBR-2A2の2種に対応。
(当社の検波器付き方向性結合器は、当社製パワーメータとセットで使う必要があります)
方向性結合器
N2PM-T200/N2PM-J200
・方向性:20dB以上の方向性結合器。
・接続フランジは、BRJ-2とTBR-2A2の2種に対応。
簡易マイクロ波検出器
N2PM-JXXX-SES
・マイクロ波の入射電力/反射電力をモニタするための簡易検出器。
・方向性結合器ほどの検出精度を必要とせず、大まかな電力値さえモニタできれば良い、という様な目的に。
2.45GHzマイクロ波用整合器(プラズマ / 工業加熱 共用)
手動型 / 3スタブ方式
SMTJ-30
・通過電力3kWまで対応する、3スタブ式 手動整合器。
・軽量・コンパクトな設計。
手動型 / EHスタブ方式
MT-20S
・マイクロ波電力:6kWまで使用可能なEHスタブ式手動整合器。
自動型 / EHスタブ方式
Piat-XX-CE
・高速・高精度のEHスタブ式自動整合器。
・スタンドアローン動作可能。
・オプションのリモートユニットを使えば、外部コントロールやパソコンを使った状態監視などの拡張機能が使用可能。
自動型 / EHスタブ方式 / 方向性結合器一体型
Piat-XX-2PM-CE
・高速・高精度のEHスタブ式自動整合器で、検波器付き方向性結合器の機能を一体化したバージョン。
・スタンドアローン動作可能。
・オプションのリモートユニットを使えば、外部コントロールやパソコンを使った状態監視などの拡張機能が使用可能。
2.45GHzマイクロ波 周辺機器
アークディテクタ
AD-D2-JXXX
・導波管内の異常放電を光センサで捉え、アラーム信号を出す保護機器。
・光センサ検出レベルは2段階で設定可能。
気密窓(真空窓)
TW-WRI22-ALQ
・導波管と負荷の間に挿入することで、減圧負荷へのマイクロ波機器接続が可能に。
2.45GHzマイクロ波用 各種導波管
各種導波管
同軸導波管変換器
TR-39D-J
・導波管(WRJ-2)から同軸管(WX-39D)にモード変換する変換器。
TR-20D-J
・導波管(WRJ-2)から同軸管(WX-20D)にモード変換する変換器。
販売終了品
2.45GHzマイクロ波発振器(工業加熱用)
【販売終了】XPS-15
最大出力:1.5kWの工業加熱用マイクロ波発振器。
空冷、インバータ式。軽量・コンパクト・廉価。
電源部と発振部はセミ・セパレート型。(分離距離は3mまで)
【販売終了】MPS-30W-AC
最大出力:3kWの工業加熱用マイクロ波発振器。
完全水冷、インバータ式。
電源部と発振部はセパレート型。
【販売終了】MPS-30A-AC
最大出力:3kWの工業加熱用マイクロ波発振器。
完全空冷、インバータ式。
電源部と発振部はセパレート型。
【販売終了】MPS-60DA-AC
最大出力:6kWの工業加熱用マイクロ波発振器。
空冷・水冷併用、インバータ式。
電源部と発振部はセパレート型。
2.45GHzマイクロ波発振器(プラズマ励起用)
【販売終了】MPS-60DA-DC
【販売終了いたしました】
最大出力:6kWのプラズマ励起用マイクロ波発振器。
空冷・水冷併用、インバータ式、低出力リップル。
電源部と発振部はセパレート型。
2.45GHzマイクロ波 周辺機器
【販売終了】ATT-8dB
固定減衰率(-8dB)のアッテネータです。