大気圧プラズマ処理ユニット

特徴

独自開発のリアクタとパルス電源

業界最高クラスの高速パルス出力可能なパルス電源とハイパワーでも連続処理対応可能なプラズマリアクタを自社開発で製品化しました。

高性能

能力不足で実用化が難しかった還元や高速表面処理がプラズマの高性能化により可能になりました。

ラインプラズマ

ライン状のプラズマにより幅のあるワークに対応できます。
また、組み合わせ電極の採用により高い拡張性があり、処理幅や要求能力に応じてプラズマ処理エリアを変更できます。

ドライ処理

薬液等を使用せず処理出来るため、廃液処理などのウェット処理の問題を解消できます。

少ないガス使用量

一般的なリモートプラズマと比較して1/10～1/100のガス使用量で処理できます。

目的別処理

酸化膜除去、高速表面処理、プラズマ洗浄（プラズマクリーナー）など目的に合わせた処理が可能です。

構成・仕様

構成

AURORAはパルス電源とリアクタから構成されます。

パルス電源

リアクタ

仕様

※横にスクロールでご覧いただけます

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周辺接続例

※横にスクロールでご覧いただけます

処理例

還元（酸化膜除去）

水素プラズマにより高い還元能力を発揮します。
銅箔などの金属箔の表面で還元能力を発揮し、水素ラジカル（H）が化学的に酸素（Ｏ）を引き抜きます。
表面形状に影響なく、高純度化し結晶性も向上します。

還元処理
［無酸素銅（C1020）］

処理後に研磨やエッチング処理のような
表面形状の変化はありません

酸化膜厚の変化
［無酸素銅（C1020）]

耐酸化性向上

プラズマ処理により耐酸化性が向上します。防錆剤レスでも長期保存を可能にします。

ホットプレートで酸化比較
［無酸素銅（C1020）］

特許取得済
特許第7685276号
銅材料の耐酸化処理方法およびプラズマ処理装置

耐酸化性　200℃, 30分加熱後
［無酸素銅（C1020）］

特注対応

プラズマリアクタ設計

ワークサイズや処理タクトに合わせてプラズマ点灯サイズや構成を変更できます。
ご相談ください。

周辺制御設計

処理目的に合わせて周辺の制御機器を一緒にご提案します。

装置設計

25年以上の装置設計・納入実績を活かし、お客様のニーズにフィットした装置を提供できます。
安全設計、各種制御などお客様のご要望にお応えした装置をご提案いたします。

サンプル処理

大気圧プラズマ処理設備

バッチ処理機

RTR処理機 TYPE-1

RTR処理機 TYPE-2