M120W
全自動化対応可能
シート向け両面処理システム
- ・対象物形状
- ：シート状、フィルム状
- ・使用用途
- ：量産
- ・自動化
- ：全自動化に対応可能
- ・処理面
- ：片面／両面 選択可能
特徴
大面積処理
最大630×640㎜サイズをプラズマ照射可能です。
高均一処理
スキャン処理を行うことにより、高い処理均一性が得られます。
高い制御性
処理方式、プラズマ条件の制御により微量な処理量の制御を可能としました。
幅広SWPリアクタ
最大630㎜幅のスキャン処理に特化したプラズマリアクタを採用しています。
全自動に対応
オプションのローダ/アンローダを組み合わせることで全自動のプラズマ処理を実現します。
スキャン処理タイプとは
サンプルがプラズマリアクタ直下を等速度で通過するスキャン処理方式を使用しているため、大面積を均一に処理することが可能です。
また、制御性が非常に高く、通過速度の変更によりナノ～マイクロオーダーまで処理量を容易に可変可能です。
全自動化対応
移載機を取り付けることで、全自動化に対応可能です。
移載機はお客様ご準備物と組み合わせていただくことも、ニッシンで製作することも可能です。
M120W 装置スペック
設置可能最大サイズ：630mm×640mm×20mm
| サイズ(mm) | W:1730mm D:2530mm H:2000mm |
|---|---|
| 重量(kg) | 1800kg |
| 電力（※1） | 三相 AC200V 52kVA |
|---|---|
| 冷却水（※1） | 30L/min.以上（結露無きこと） |
| 圧縮空気（※1） | 0.5～0.7MPa 20NL/min.以上 |
| パージガス | 5～200SLM（プロセスによる） |
| プロセスガス（※2） | O2,Ar,CF4,N2,H2,Heなど（プロセスによる） |
- ※1.ハードウェア仕様により、多少異なります。
- ※2.プロセス仕様によって、使用ガス種などは異なります。
