還元処理（酸化物除去）

ニッシンのプラズマ応用ソリューション

プラズマを用いた還元処理（酸化物除去）について

酸化した材料表面に水素プラズマを照射することで、表面の酸化物、錆を除去することが可能です。

材料の酸素のみを化学的に引き抜くため、表面粗度などの物理的な状態や厚みには大きな変化を与えることなく、酸化膜の除去が可能です。

O ＋ 2H → H₂O(水ガス化して除去)

※ 特許第4702680号に該当する技術は使用許諾を受けています。

一般的に金属酸化膜の除去を行うには、薬液によるエッチング、還元剤を用いた焼鈍などがありますが、これらは金属表面の形状を変形させてしまう、または、高温にする必要があります。

一方、プラズマによる酸化膜除去プロセスは、低温でかつ、表面形状や厚みを変化させずに酸化膜を除去できます。
水素ガスは可燃性ガスであるため取り扱いに懸念をもたれる方には、生産ラインで取り扱いやすい濃度4%以下の水素ガスでのレシピ調整もご提案いたします。

目視で分かるレベルの酸化銅が形成された表面においても、酸化膜を除去し、きれいな無垢銅表面を露出させることが可能です。