プラズマとは

プラズマとは

プラズマとは

プラズマとは、気体を構成する分子が部分的、または完全に電離し、陽イオンと電子に別れて自由運動している状態。プラズマ中の電荷は、異符号の電荷を引き付けるため、全体として電気的に中性的な性質に保たれます。

分子からなる気体とは大きく異なる性質を持つため、プラズマは物質の第3態、固体・液体・気体とは異なった、物質の第4態といわれています。

マイクロ波プラズマを使った表面処理の仕組み

1.気体を電磁波でプラズマ化する
マグネトロンなどを用いて電磁波を発生させ、その電磁波で気体(プロセスガス)を励起させることで、プラズマ化します。
2.発生させたプラズマを対象物にあてる
発生させたプラズマを対象物に照射します。
3.プラズマでの表面処理
プラズマを照射することで、対象物表面の処理を行います。

プラズマ化する気体(プロセスガス)を変更することで、要望に合わせた表面処理を実現

酸素プラズマ 親水加工

親水加工

フッ素プラズマ 撥水加工

撥水加工

酸素プラズマ アッシング加工

アッシング加工

酸素プラズマ 表面粗化

表面粗化

水素プラズマ 錆取り(還元処理)

錆取り(還元処理)

プラズマの種類

マイクロ波プラズマ 高周波プラズマ 大気圧プラズマ
プラズマの
発生方法
1秒間に2,450,000,000回振動する2.45GHzの電磁波で発生させる 1秒間に13,560,000回振動する13.56MHzの電磁波で発生させる 高周波プラズマ、マイクロ波プラズマが真空環境でプラズマを発生させるのに対して、大気圧下でプラズマを発生させる
均一性

広範囲にプラズマ発生させるため、均一な処理ができる

低出力なため、ムラが発生する場合がある

×

低出力なため、効果が限られる

密度

様々な有機物に対して、効果がある

効果の出ない有機物もある

×

低出力なため、効果が限られる

コスト

真空環境を作る必要があり、高コスト

真空環境を作る必要があり、高コスト

大気圧下で発生させるので、低コスト

マイクロ波プラズマ

マグネトロンから発振された2.45GHzのマイクロ波を真空中の誘電体表面に伝播させることで、誘電体表面のガスを励起しプラズマを生成します。
広範囲に均一なプラズマを生成する事が可能で一般的に「表面波プラズマ」と呼ばれています。また生成されるプラズマの密度が非常に高く、処理能力が非常に高いため枚葉処理が可能であり、高均一で高い制御性を持つという特徴があります。

マイクロ波だからできるニッシンプラズマの特徴とは

高周波プラズマ

真空中に設置された対向電極に13.56MHzの高周波を与え電極間にプラズマを生成します。

比較的大容量でプラズマを点灯する事が可能な一方、低密度なプラズマが生成される為、一度に複数のワークを処理するバッチタイプが一般的であり、均一性や制御性が低い特徴があります。

大気圧プラズマ

高周波・マイクロ波プラズマと異なり、大気中でプラズマを生成することも可能です。
装置が簡便な一方、高周波・マイクロ波プラズマと比較して、表面処理能力が大きく劣ります。

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2018年5月末まで停止させて頂いております。
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