ニッシンプラズマの特徴

ニッシンのプラズマ応用ソリューション

プラズマリアクタの独自開発により強力で高均一な処理を実現

ニッシンはマイクロ波電源を始めとしたマイクロ波関連機器に自社製品を使用している数少ないメーカーです。(高周波電源やプラズマ発生源は購入してくることが一般です。)これは古くから培ってきた電源技術、電磁波技術などのバックグラウンドが可能としました。

プラズマリアクタ(プラズマ発生部)の特性にとって、電磁波の特性は最重要部の1つです。
ニッシンではプラズマ生成、電磁波の両側面から長年培った技術を複合させた最良のプラズマ装置をご提供いたします。

表面波プラズマ(SWP)の生成概要

・2.45GHzのマイクロ波を、誘電体を介して真空チャンバ内へ伝送します。

・誘電体表面に表面波という電磁波モードを生成し、この電磁波が誘電体表面のガスをプラズマ化します。マイクロ波を用いることにより、非常に高密度なプラズマを生成できます。

・生成したプラズマをダウンフローによりサンプル表面へ照射します。

表面波プラズマ(SWP)の生成概要

目的に応じた様々な種類のプラズマ処理のソリューションをご提供可能です

目的に応じた様々な種類のプラズマ処理のソリューションをご提供可能です

ニッシンではお客様のご要望に合わせて、プロセス開発、ハード開発、設計、製造、導入、サポートまで、社内で一貫した体制でご対応いたします。

従来のプラズマ装置では困難と思われた装置構成や、処理効果でもお気軽にご相談ください。

目的別プラズマソリューション例

プラズマは主にその特性から産業分野においては主に表面処理に応用されています。
目的別にプラズマによる表面処理例をご説明いたします。

01

ムラの無い均一な表面処理がしたい

  • 処理のムラによる不良発生を防ぎたい
  • もっときめ細かい表面処理がしたい
  • 大面積に対して高均一な処理がしたい
A

【 高均一処理 】

プラズマ発生源の最適化とスキャン処理方式での均一処理

高均一処理とは?

均一なマイクロ波プラズマ発生源とスキャン処理方式で大面積均一な処理を実現

ニッシンのプラズマ装置は独自のマイクロ波プラズマとスキャン技術により高均一な処理を実現しました。

対象物をプラズマの直下を通過させて処理する”スキャン処理“により、大面積に対しても高い均一性を実現しました。

高均一処理とは?
02

”高速処理”と”低温処理”を両立させたい

  • 処理時間を短縮したい
  • 低温で処理したい
A

【高密度処理】+【低温処理】

マイクロ波による高密度なプラズマと、ダウンフローによるプラズマ照射にて熱ダメージを大幅に低減

高密度処理とは?

周波数の高いマイクロ波によりプラズマさせることで、
プラズマの密度を高くすることが可能
様々な材料に対して短時間処理を実現

ニッシンの高密度マイクロ波プラズマでは通常の高周波プラズマの数百倍から数千倍の密度を持ったプラズマを生成します。

そのため、これまでは長時間のプラズマ照射が必要であった処理や、十分な効果が得られなかった処理でも、短時間で大きな効果を付与することができます。

高密度処理とは?

低温処理とは?

無電極放電のダウンフローによるプラズマで、低耐熱性材料へのプラズマ照射を実現

ニッシンのマイクロ波プラズマは電極を用いない「無電極放電」によりプラズマを生成し、「ダウンフロー」によって対象物へプラズマを輸送します。そのため、加速されたイオンの衝突を最小限に抑えることができ、対象物への熱ダメージを大幅に軽減できます。

加えて、ニッシン独自のプラズマ輸送機構によりさらなる低温化が可能で、従来の処理では困難であった耐熱温度が低いPET樹脂や極薄基板などの材料にも、プラズマ照射することが可能となりました。

03

装置を量産ラインへ適用したい

  • 自動化させたい
  • 既存の生産ラインに合わせた装置がほしい
  • 極薄基板や特殊形状の製品を処理したい
  • 処理量を手軽に調整できる装置がほしい
A

【装置カスタマイズ】

ラインに合わせたカスタマイズ
枚葉処理の実現によりヒューマンエラーの低減

プラズマ表面処理装置のカスタマイズとは?

装置メーカーのノウハウを活かし、生産ラインに適した設備にカスタムできます
事例1枝葉処理の工程を全自動化

従来のバッチ式プラズマ装置では困難であった枚葉処理を採用することで、全自動プラズマ処理システムを実現しました。

全自動化されたプラズマ処理によりハンドリングエラー、ヒューマンエラーを軽減し、歩留まりを大幅に改善することが可能です。

枝葉処理の工程を全自動化
事例2フィルム・フレキシブル基板を安全に搬送

厚さ数十ミクロンの極薄フィルム、フレキシブル基板に対しては、独自開発のチャッキング機構を装置搬送部追加することで、安定した搬送、処理が可能です。

フィルム・フレキシブル基板を安全に搬送
事例3生産性の向上

処理室前後にロードロックチャンバ、アンロードロックチャンバを設けることにより、真空引きなどの処理に寄与しない時間帯を削減、従来の数倍の生産性を得ることが可能です。

生産性の向上

プラズマに関する各種ソリューションのご提供が可能です

プラズマのプロセス開発なら、
プラズマ装置メーカーのニッシンにお任せください

これまでニッシンは、様々な分野から、様々な材料へのプラズマ処理依頼を承っております。
その経験を活かし、お客様の希望するプラズマ処理を、お客様とご相談しながら実現します。

技術のご相談やお見積りなど、お気軽にお問い合わせください

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私達はお客様の課題を解決するために全力を尽くします。製品の選択やカスタマイズからアプリケーションのサポート、
コンサルティングから装置の設置・修理業務まで、ニッシンはあらゆるシーンでお客様をサポートいたします。

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