マイクロ波機器

プロダクト

2.45GHzマイクロ波発振器(工業加熱用)

1.7kW出力 / 空冷

HPS-17A-SP/TP

・低コスト
・コンパクト
・単相、三相対応の2種類をご用意
・オプション品「H-CONT」と併用することで
 発振↔停止の操作が可能

MH-17CJ-A

・受注生産品

HPS-17A-HD

・受注生産品

3kW出力 / 空冷

HPS-30A

・低コスト
・コンパクト
・オプション品「H-CONT」と併用することで
 発振↔停止の操作が可能

MH-30CJ-A(28)

・受注生産品

H-CONT

・マイクロ波電源部(HPSシリーズ)の外部コントロール用ユニット
・HPSシリーズの発振↔停止の操作が可能

6kW出力 / 水冷

MPS-60W-AC

・熱交換器を内蔵
・吸気口・排気口がないため、粉塵環境に強い
・結露に強い
・CE認証取得

2.45GHzマイクロ波発振器(プラズマ励起用)

3kW出力 / 水冷

MPS-30W-DC-CE

・熱交換器を内蔵
・吸気口・排気口がないため、粉塵環境に強い
・結露に強い
・低リップル
・CE認証取得

MPS-30W-DC-U

6kW出力 / 水冷

MPS-60W-DC-CE

・入力電源定格:三相 180V~220V
・熱交換器を内蔵
・吸気口・排気口がないため、粉塵環境に強い
・結露に強い
・低リップル
・CE認証取得

MPS-60W-400-CE

・入力電源定格:三相 360V~440V
・熱交換器を内蔵
・吸気口・排気口がないため、粉塵環境に強い
・結露に強い
・低リップル
・CE認証取得

2.45GHzマイクロ波用アイソレータ(プラズマ / 工業加熱 共用)

耐反射電力 ~1.5kW / 空冷

NISJ-15A

・通過電力3kWまで使用可能
・耐反射電力1.5kWまで使用可能
・結露を嫌う環境に最適

NISJ-15SA

・通過電力3kWまで使用可能
・耐反射電力1.5kWまで使用可能
・ダミーロード部を折り曲げたコンパクトタイプ
・結露を嫌う環境に最適
・TEMPアラーム機能付き

耐反射電力 ~6kW / 水冷

NISJ-60W / NIST-60W

・通過電力6kWまで使用可能
・耐反射電力6kWまで使用可能
・対応フランジは BRJ-2 と TBR-2A2 の2種

2.45MHzマイクロ波電力検出機器(プラズマ / 工業加熱 共用)

検波器付き方向性結合器

N2PM-J/N2PM-T

・方向性が20dB以上の検波器を搭載
・検波器搭載のため、入力されるマイクロ波を
 直流電圧に変換
・対応フランジはBRJ-2とTBR-2A2の2種
・本製品は当社製パワーメータと併用が必要

EX-MU(N2PM-J/N2PM-T用外付けパワーモニタユニット)

・検出した入射/反射電力値を表示
・当社製検波器付き方向性結合器と校正して使用

方向性結合器

N2PM-T200/N2PM-J200

・方向性が20dB以上の方向性結合器
・導波管内を伝送するマイクロ波の
 一部を取り出すことが可能
・対応フランジはBRJ-2とTBR-2A2の2種

(測定器はお客様にてご用意していただく必要があります)

マイクロ波検出器

N2PM-JXXX-SES

・マイクロ波の入射/反射電力を
 モニタするための簡易的な検出器
・大まかな電力値のみモニタが可能
・対応フランジはBRJ-2の1種

(測定器はお客様にてご用意していただく必要があります)

2.45GHzマイクロ波用整合器(プラズマ / 工業加熱 共用)

手動型 / 3スタブ方式

SMTJ-30

・通過電力3kWまで使用可能
・軽量、コンパクトな設計

手動型/ EHスタブ方式

自動型 / EHスタブ方式 / 方向性結合器一体型

Piat-XX-2PM-CE

・EHスタブ式
・高速、高精度
・検波器付き方向性結合器の機能を一体化
・スタンドアローン動作可能
・外部コントロールやパソコンを使った状態監視など
 拡張機能が使用可能(オプション)

2.45GHzマイクロ波 周辺機器

アークディテクタ

AD-D2-JXXX

・導波管内の異常放電を光センサで捉え、
 アラーム信号を出す保護機器
・光センサ検出レベルは2段階で設定可能

可動短絡器

SP-J

・定在波調整用の可動短絡器
・WRJ-2規格のストレート管と組み合わせて使用

気密窓(真空窓)

TW-WRI22-ALQ

・真空度1Paまで使用可能
・導波管と負荷の間に挿入することで、導波管内へのガス等の侵入を防ぐ
・減圧が必要な負荷へのマイクロ波機器接続が可能

2.45GHzマイクロ波用 各種導波管

各種導波管

ストレート / Eコーナー / Hコーナー

・WRJ-2規格、WRT-2規格の各種ストレート管、
 コーナー導波管

変換導波管(1/4LAMBDA-J-T)

・WRI-22規格(旧JIS規格WRJ-2)導波管とWRT-2規格導波管の接続に使用

変換導波管(TR-T-284-L45)

・WRI-32規格(旧JIS規格WRJ-3)導波管とWRT-2規格導波管の接続に使用

同軸導波管変換器

TR-39D-J

・導波管(WRJ-2規格)から同軸管(WX-39D規格)へモード変換する変換器

TR-20D-J

・導波管(WRJ-2規格)から同軸管(WX-20D規格)へモード変換する変換器

販売終了品

2.45GHzマイクロ波発振器(工業加熱用)

【販売終了】XPS-15

・最大出力:1.5kW
・空冷、インバータ式
・軽量、コンパクト、廉価
・電源部と発振部はセミ・セパレート型(分離距離は3mまで)

【販売終了】MPS-30W-AC

・最大出力:3kW
・水冷、インバータ式
・電源部と発振部はセパレート型

【販売終了】MPS-30A-AC

・最大出力:3kW
・空冷、インバータ式
・電源部と発振部はセパレート型

【販売終了】MPS-60DA-AC

・最大出力:6kW
・空冷・水冷併用、インバータ式
・電源部と発振部はセパレート型

2.45GHzマイクロ波発振器(プラズマ励起用)

【販売終了】MPS-60DA-DC

・最大出力:6kW
・空冷・水冷併用、インバータ式
・低リップル
・電源部と発振部はセパレート型

2.45GHzマイクロ波用整合器(プラズマ/工業加熱 共用)

【販売終了】SMTJ-15

・通過電力1.5kWまで使用可能
・軽量、コンパクトな設計

2.45GHzマイクロ波 周辺機器

【販売終了】ATT-8dB

・固定減衰器
・減衰量は-8dB

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